SS101وافره-سطح توزیع ماشین
برای زیرپول کردن شکل وافره
SS101 یک سیستم توزیع سطح وافر بسیار پایدار و دقیق است که بر اساس الزامات فرآیند Under fill از RDL First WLP توسعه یافته است.
این تجهیزات نیازهای صنعت نیمه هادی را برآورده می کند، می تواند با یک سیستم بارگیری و تخلیه خودکار وافر مجهز باشد و می تواند به طور خودکار عملکردهایی مانند دستکاری وافر را درک کند.ترازبا پروتکل های ارتباطی بین المللی نیمه هادی سازگار استو با یک رابط ربات بارگیری و تخلیه خودکار AMHS برای مطابقت با
الزامات مدیریت اطلاعات و روند مدیریت بدون سرنشین
طرح سیستم SS101
لودپورت و فوپ
✅ تنظیم کننده
ایستگاه اسکن کد QR
️ ایستگاه پیش گرمایش
️پایگاه تبعید گرما
ایستگاه کار ماشین توزیع GS600SWA GS600SWB ایستگاه کار ماشین توزیع
ماژول کنترل ربات
ترکیب سیستم توزیع سطح وافر SS101
دستگاه توزیع وافر سطح GS600SW × 2
PC101 ماشین بارگیری و تخلیه وافره × 1
زمینه های کاربرد
RDL اول WLP
استفاده از CUF
SS101 جریان عملیاتی توزیع سطح وافره
ویژگی ها و مزایا
از پخش وافرهاي 8/12 اينچي پشتیبانی ميکنه
سطح ضد گرد و غبار 10، که الزامات زیست محیطی بسته بندی سطح وافر را برآورده می کند.
حفاظت ESD مطابق با استانداردهای بین المللی IEC و ANSI.
در کل فرآیند گردش و کار وافره، دمای آن به دقت کنترل و به طور خودکار برای برآورده کردن الزامات فرآیند CUF با اطمینان از ایمنی محصول اصلاح می شود.
نظارت تصویری کل فرآیند، گردش محصول، مشاهده فرآیند عملیات و ردیابی و تجزیه و تحلیل مشکل را تسهیل می کند
مشخصات فنی
سیستم SS101
GS600SWA * 1 ،GS600SWB * 1 ، PC101 Wafer Handling Machine * 1 (EFEM)
زمینه های کاربرد
RDL اولین WLP، CUFتطبيق
سطح تمیز
تمیز کردن محل کار
کلاس 100 (کارگاه کلاس 1000)
کلاس ۱۰ (کارگاه کلاس ۱۰۰)
زمینه های کاربرد محصول
پشتیبانی از اندازه وافره
φ200mm±0.5mm، φ300mm±0.5mm
(مدل استاندارد فقط از وافرهای 12 اینچی پشتیبانی می کند)
پشتیبانی از ضخامت وافره
300-2550μm
حداکثر محدوده مجاز وافره
GS600DD ماشین توزیع کاملا اتوماتیک
برای دام و پر کردن
دستگاه توزیع کامل اتوماتیک GS600DD یک قطعه از تجهیزات توزیع با ثبات بالا و دقت بالا است که بر اساس الزامات فرآیند دام و پر کردن FCBGA و غیره توسعه یافته است.تجهیزات نیازهای صنعت نیمه هادی را برآورده می کند، با یک سیستم بارگذاری و تخلیه خودکار مجهز است و می تواند به طور خودکار عملکرد بارگذاری و تخلیه مجلات ، آب بند و زیرپوری کردن چسب را تحقق بخشد.با پروتکل های ارتباطی بین المللی نیمه هادی سازگار است، و مطابق با الزامات مدیریت اطلاعات و روند مدیریت بدون سرنشین است.
ترکیب سیستم
GS600DD ماشین توزیع کاملا خودکار × 1 ماشین بارگیری و تخلیه خودکار مجله × 1
جریان عملیات
بارگذاری مجلات - آب بند - آب کردن چسب - آب کردن چسب - تخلیه مجلات
ویژگی ها و مزایای آن
جذب شوک خوب با ساختار قاب معدنی برای کاهش موثر ضربه ناشی از عملکرد تجهیزات با سرعت بالا.
تشخیص ظرفیتی و تشخیص تحرک لیزر برای جلوگیری از از دست دادن محصول ناشی از مقدار ناکافی چسب
سطح ضد گرد و غبار 10، مطابق با الزامات محیط بسته بندی.
عملکرد تعویض موقعیت توزیع خودکار برای اطمینان از دقت توزیع
حفاظت ESD مطابق با استانداردهای بین المللی IEC و ANSI.
عملکرد تشخیص عرض چسب برای جلوگیری از خطرات فرآیند ناشی از توزیع نادرست
مشخصات فنی
مدل GS600DD
ترکیب سیستم
GS600DD * 1، ماشین بارگیری و تخلیه خودکار مجله * 1
زمینه های کاربرد
FCBGA، بسته بندی اتصال سیم
سطح تمیز
تمیز کردن محل کار
کلاس 100 (کارگاه کلاس 1000) کلاس 10 (کارگاه کلاس 100)
سیستم انتقال
ابعاد
۷۷۰×۱۶۵۰×۲۱۰۰ میلی متر
سیستم انتقال
X/Y: موتور خطی Z: موتور سرو و ماژول پیچ
تکرار پذیری (3سیگما)
X/Y: ±5 μm Z: ±10 μm
دقت موقعیت (۳ سیگما)
X/Y: ±10 μm Z: ±25 μm
حداکثر سرعت حرکت
X/Y:1300mm/s Z: 500mm/s
حداکثر سرعت شتاب
X/Y:1.3g Z:0.5g
محدوده توزیع
۳۵۵ میلی متر × ۵۹۵ میلی متر
رزولوشن شبکه
1 μm
دقت تطبیق تکراری بصری
5μm
دقت موقعیت تک نقطه ای چسب
≤±30 μm
روش کالیبراسیون و جبران ارتفاع محور Z
سنسور لیزر
دقت سنسور لیزر
±1 μm
مشخصات محور Z
دو سر اسینکرون
نوع سرنگ مورد استفاده
5cc، 10cc، 30cc، 50cc، 70cc
دقت وزن چسب
10mg±3٪، 5mg±5٪
دقت ماژول وزن
220 گرم/0.1 میلی گرم
ماژول دید
پیکسل
500W (2048×2448dpi)
لنز
0.2X لنز تلسنتریک
منظر دوربین
35×35 میلی متر
دقت تک پیکسل
17um
تشخیص عرض چسب
≥ 170um
FRR AOI (درصدی از اشتباهات قضاوت)
GS600SU زیرپول Dispensing ماشین
برای Die Form Underfi ll
GS600 SU یک سیستم توزیع آنلاین خودکار با سرعت بالا و دقت بالا است که بر اساس الزامات فرآیند Underfill FCBGA / FCCSP توسعه یافته است.
The system strictly controls the product and adhesive temperature, and intelligently sorts the product operation sequence and the glue replenishment time. این سیستم به طور دقیق درجه حرارت محصول و چسب را کنترل می کند و به طور هوشمندانه توالی عملیات محصول و زمان پر کردن چسب را مرتب می کند.reducing the generation of voids and ensuring the operation yield کاهش تولید حفره ها و تضمین بهره برداری از عملیاتدر عین حال، این نرم افزار با پروتکل های ارتباطی بین المللی نیمه هادی سازگار است و با الزامات مدیریت اطلاعات مطابقت دارد.
■زمینه های کاربرد
FCBGA Packaging CUF Application FCCSP Packaging CUF Application SiP Packaging CUF Application بسته بندی FCCGA بسته بندی FCCGA بسته بندی FCCGA بسته بندی FCCGA بسته بندی FCCGA بسته بندی FCCGA بسته بندی CUF برنامه ریزی FCCSP بسته بندی CUF برنامه ریزی SiP بسته بندی CUF برنامه ریزی
■ مشخصات فنی
زمینه های کاربرد
FCBGA، FCCSP، SIP
فرآیند قابل اجرا
Die Form Underfill (فورم زیرپوری)
سطح تمیز
تمیز کردن محل کار
کلاس 100 (کارگاه کلاس 1000)
کلاس ۱۰ (کارگاه کلاس ۱۰۰)
انتقال
مکانیسم
سیستم انتقال
X/Y: موتور خطی Z: Servo motor&Screw module
تکرار پذیری (3 سیگما)
X/Y: ±0.003mm، Z: ±0.005mm
دقت موقعیت (۳ سیگما)
X/Y: ±0.010mm، Z: ±0.015mm
حداکثر سرعت حرکت
X/Y: 1000mm/s
Z: 500 میلی متر در ثانیه
حداکثر سرعت شتاب
X/Y: 1g، Z: 0.5g
رزولوشن شبکه
1 μm
Z axis movement range ((W × D))
3 5 0 میلی متر × 4 7 0 میلی متر
Z axis height calibration & compensation Method روش کالیبراسیون و جبران ارتفاع در محور Z
سنسور لیزر
دقت سنسور لیزر
2μm
سیستم توزیع
دقت کنترل چسب
± 3٪ / 1mg
تکرار پذیری موقعیت تک نقطه CPK > 10
± 25 μm
Min. قطر نوزل
30 μm
Min. single dot glue weight وزن چسب تک نقطه ای
0.001mg/dot
مکس. ویسکوزیتی مایع
200000 سی پی اس
حداکثر فرکانس پرتاب
1000 هرتز
Runner/nozzle heating temperature درجه حرارت گرم کردن رانر/نوزل
دمای اتاق ~200°C
انحراف temp. runner/nozzle heating
± 2 °C
مشخصات بسته بندی چسبدار
5CC/10CC/30CC/50CC/70CC
سرینج cooling range
یخچال ها تا ۱۵ درجه سانتیگراد زیر دمای محیط خنک می شوند.
طیف خنک کننده پیزو
کولز تا دمای منبع هوا فشرده.
سیستم ردیابی
تعداد آهنگ ها
2
تعداد بخش های کمربند
یک قطعه
حداکثر سرعت انتقال مسیر
300mm/s
مکس. وزن انتقال مسیر
3 کیلوگرم
حداقل پاکسازی لبه
3 میلی متر
دامنه تنظیم عرض آهنگ
60mm تا 162mm قابل تنظیم
روش تنظیم عرض مسیر
راهنما
ارتفاع مسیر
910mm تا 960mm قابل تنظیم
Max. thickness of applicable substrate/carrier (گوساله ای که در آن مواد قابل استفاده هستند)
6 میلی متر
محدوده طول زیربنای قابل اجرا/ حامل
60mm تا 325mm
محدوده فشار جذب خلاء
-50 تا 80Kpa قابل تنظیم
درجه حرارت پایین گرمایش
دمای اتاق: 180 درجه سانتیگراد
دگرگونی در دمای پایین
≤ ± 1،5 °C
امکانات
Footpri nt W × D × H
2380mm*1550mm*2080mm ((Loading & Unloading & display included))
2380mm*1200mm*2080mm ((Loading & Unloading included, display excluded) * بارگذاری و تخلیه شامل، نمایشگر شامل)
وزن
1600 کیلوگرم
منبع برق
200-240VAC، 47-63HZ (تزریق برق تطبیق ولتاژ تک مرحله ای)
جریان الکتریکی
30A
قدرت
6.4KW
نفس بکشید
(0.5Mpa، 450L/min) ×2
برنامه FCBGA Packaging CUF
برنامه FCCSP Packaging CUF
SiP Packaging CUF اپلیکیشن
ماژول های فرآیند ویژه
سیستم پرتاب پیزو الکتریکی ویژه CUFانسولاسیون چسبناک + کنترل حلقه بسته درجه حرارت سرامیکی پیزو الکتریکی برای جلوگیری از بی ثباتی سیستم ناشی از تأثیر درجه حرارت
هشدار سه گانه سطح پایینCapacitive detection + magnetic detection + system weighing to avoid poor operation caused by lack of glue تشخیص ظرفیتی + تشخیص مغناطیسی + سیستم وزن برای جلوگیری از عملکرد ضعیف ناشی از کمبود چسب
فکتورهای گرمایش خلاءThe temperature difference of the whole surface of the fixture is ≤ ± 1.5°C، تفاوت درجه حرارت کل سطح لامپ ≤ ± 1.5°C است.و درجه حرارت در زمان واقعی نظارت و جبران می شود تا از عملکرد ضعیف ناشی از تغییرات درجه حرارت محصول در طول عملیات جلوگیری شود.
دانلود آهنگThe vacuum adsorption fixture always keeps still, and the track moves up and down to avoid poor operation caused by loss of flatness during reciprocating movement of the vacuum adsorption fixture. دستگاه آداپتور جذب خلاء همیشه در حال حرکت است و مسیر به سمت بالا و پایین حرکت می کند تا از عملکرد ضعیف ناشی از از دست دادن سطح در طول حرکت متقابل دستگاه آداپتور جذب خلاء جلوگیری شود.
سیستم بارگیری و تخلیه نوع پلتفرمThe feeding sequence is automatically sorted, and the operation is completed within the Plasma time limit (سلسلۀ تغذیه به طور خودکار مرتب می شود و عملیات در محدوده زمان پلاسما تکمیل می شود)طراحی رابط انسان-ماشین دوستانه
سیستم بصریعملکردهای موقعیت و تشخیصبررسی قبل از عملیات برای جلوگیری از مواد ناقص ورودیبازرسی پس از عملیات برای جلوگیری از نقص های دسته
SS200 پوشش ضمیمه سیستم
این یک سیستم اتصال بسیار پایدار و دقیق پوشش است که بر اساس الزامات فرآیند پوشش FCBGA / FCCSP توسعه یافته است.
ادغام توابع بارگذاری و تخلیه اتوماتیک، توزیع، اتصال کاپ، Snapcure، و بازرسی توزیع و اتصال،سیستم می تواند به طور خودکار عملکردهای از جمله بارگذاری و تخلیه خودکار زیربناها و پوشش ها را به طور خودکار تحقق بخشد.، پوشش چسب اتوماتیک AD & Tim، تشخیص شکل چسب، اتصال کاور و تشخیص نتیجه اتصال، و نگه داشتن فشار کاور و پیش از خشک شدن.با پروتکل های ارتباطی بین المللی نیمه هادی سازگار استو به الزامات مربوطه خطوط توليد اتوماتيك پاسخ ميده.
ترکیب سیستم عملیاتی کاملا اتوماتیک
ماشین بارگیری KLM201
دستگاه تزریق گل GS600SD
ماشین نصب AS0
دستگاه فشارگر گرم MP200
ماشین تخلیه KUM2
* ماشین های این سیستم از طراحی ماژولار هستند.
* توالی یا مقدار دستگاه توزیع، نصب
دستگاه و دستگاه فشار گرم می تواند با توجه به تنظیم شود
الزامات توالی فرآیند و نسبت کارایی.
ویژگی ها و مزایا
جذب شوک خوب با ساختار قاب معدنی برای کاهش موثر ضربه ناشی از کار با سرعت بالا.
حفاظت ESD مطابق با استانداردهای بین المللی IEC و ANSI.
عملکرد تعویض موقعیت توزیع خودکار برای اطمینان از دقت توزیع.
طراحی ماژولار کل ماشین و عملیات توزیع که از همگام سازی دو دریچه با مداخله / همگام سازی دو دریچه پشتیبانی می کند.
سطح ضد گرد و غبار 10 ، برآورده کردن الزامات صنعت بسته بندی پیشرفته.
عملکرد تشخیص عرض چسب برای جلوگیری از خطرات فرآیند ناشی از توزیع نادرست
عملکرد بازرسی مربوطه برای اطمینان از کیفیت محصول پس از اتمام هر مرحله فرآیند.
سیستم بارگذاری نوع پلتفرم برای پشتیبانی از کار مداوم چند مجاره
SS200 زمینه های کاربردی
زمینه های کاربرد
درخواست FCBGA / FCCSP برای چسباندن پوشش (از جمله چسب AD ، چسب Tim ، چسب پوشش ، Snapcure)
اندازه مناسب PKG
5 میلی متر × 5 میلی متر- 110 میلی متر × 110 میلی متر
اِم اِکس، قایق بزرگ
L × W ≤ 325 mm × 162 mm
مکس، قایق روشن شده
3 کیلوگرم (بشمول وزن محصول)
حداکثر، اندازه مجله
L × W × H≤ 330 mm × 165 mm × 180 mm
اندازه سینی
L × W≤ 3 1 6 mm × 135 mm
روش بارگیری پوشش
مجله، بارگیری سینی (استانداردی) ؛ تغذیه نوع کمربند ((اختیاری) ؛ لوله / سینی نرم (تخصیص پذیر)
SS200 امکانات عمومی
دمای محیط و رطوبت 25°C±5°C، 30 ~ 70%
اثر پا W × D × H
۵۸۷۰ میلی متر × ۱۶۵۰ میلی متر × ۲۱۰۰ میلی متر
وزن سیستم
5.8T
منبع برق
200~240VAC،47~63HZ ،فوج متناوب تک فاز
جریان الکتریکی
81A
قدرت
۱۸ کیلو وات
نفس بکشید
۱۷۷۰ لیتر/ دقیقه
KLM/KUM201 ماژول بارگیری و تخلیه
KLM/ KUM201 بارگیری و غیر بارگیری
اندازه
1 2 0 0 mm × 6 1 5 mm × 2 0 14 mm
پاکسازی و قرنطینه FM
حمام پرده ی هوای یون در ورودی
قایق " کیتی "
3 عدد
روش بارگیری
نوع پلتفرم
تکرار پذیری (۳ سیگما)
Z/Y: