logo
Changzhou Mingseal Robot Technology Co., Ltd.
ایمیل market01@mingseal.com تلفن +86-137-7688 -0183
دربارهی ما
خونه > محصولات > دستگاه پخش میکرو چسب >

GS600SW ماشین توزیع سطح وافر RDL اولین برنامه WLP CUF برای زیرپول شکل وافر

جزئیات محصولات

GS600SW ماشین توزیع سطح وافر RDL اولین برنامه WLP CUF برای زیرپول شکل وافر

مقدار: 1
قیمت: $1000-$150000
جزئیات بسته بندی: چوبی
زمان تحویل: 5-60 روز
شرایط پرداخت: L/C، T/T، D/A، D/P، MoneyGram، Western Union
جزئیات اطلاعات
محل منبع:
چین
نام تجاری:
MingSeal
گواهی:
ISO CE
شماره مدل:
GS600SW
شرایط:
جدید
ولتاژ:
110 ولت/220 ولت
درجه گذاری خودکار:
خودکار
تضمین:
یک سال
برجسته کردن:

دستگاه توزیع سطح وافره ی زیرپول,GS600SW دستگاه توزیع سطح وافره,دستگاه توزیع سطح وافره WLP CUF

,

GS600SW Wafer-Level Dispensing Machine

,

WLP CUF Wafer-Level Dispensing Machine

توضیحات محصول

SS101وافره-سطح توزیع ماشین

 

برای زیرپول کردن شکل وافره

SS101 یک سیستم توزیع سطح وافر بسیار پایدار و دقیق است که بر اساس الزامات فرآیند Under fill از RDL First WLP توسعه یافته است.

این تجهیزات نیازهای صنعت نیمه هادی را برآورده می کند، می تواند با یک سیستم بارگیری و تخلیه خودکار وافر مجهز باشد و می تواند به طور خودکار عملکردهایی مانند دستکاری وافر را درک کند.ترازبا پروتکل های ارتباطی بین المللی نیمه هادی سازگار استو با یک رابط ربات بارگیری و تخلیه خودکار AMHS برای مطابقت با

الزامات مدیریت اطلاعات و روند مدیریت بدون سرنشین
 
طرح سیستم SS101

 

لودپورت و فوپ

✅ تنظیم کننده

ایستگاه اسکن کد QR

️ ایستگاه پیش گرمایش

️پایگاه تبعید گرما

ایستگاه کار ماشین توزیع GS600SWA GS600SWB ایستگاه کار ماشین توزیع

ماژول کنترل ربات
 

 

ترکیب سیستم توزیع سطح وافر SS101

  • دستگاه توزیع وافر سطح GS600SW × 2
  • PC101 ماشین بارگیری و تخلیه وافره × 1

زمینه های کاربرد

  • RDL اول WLP
  • استفاده از CUF

SS101 جریان عملیاتی توزیع سطح وافره

QQ截图20230207112218

ویژگی ها و مزایا

  • از پخش وافرهاي 8/12 اينچي پشتیبانی ميکنه
  • سطح ضد گرد و غبار 10، که الزامات زیست محیطی بسته بندی سطح وافر را برآورده می کند.
  • حفاظت ESD مطابق با استانداردهای بین المللی IEC و ANSI.
  • در کل فرآیند گردش و کار وافره، دمای آن به دقت کنترل و به طور خودکار برای برآورده کردن الزامات فرآیند CUF با اطمینان از ایمنی محصول اصلاح می شود.
  • نظارت تصویری کل فرآیند، گردش محصول، مشاهده فرآیند عملیات و ردیابی و تجزیه و تحلیل مشکل را تسهیل می کند

 

مشخصات فنی
 

سیستم SS101 GS600SWA * 1 ،GS600SWB * 1 ، PC101 Wafer Handling Machine * 1 (EFEM)
زمینه های کاربرد RDL اولین WLP، CUFتطبيق
سطح تمیز تمیز کردن محل کار

کلاس 100 (کارگاه کلاس 1000)

کلاس ۱۰ (کارگاه کلاس ۱۰۰)

 
 

زمینه های کاربرد محصول

پشتیبانی از اندازه وافره

φ200mm±0.5mm، φ300mm±0.5mm

(مدل استاندارد فقط از وافرهای 12 اینچی پشتیبانی می کند)

پشتیبانی از ضخامت وافره 300-2550μm
حداکثر محدوده مجاز وافره <5mm (بر اساس نوع Robot Finger)
حداکثر وزن مجاز وافره 600 گرم (بر اساس نوع Robot Finger)
شکل کیست وافری 8 اینچ Open Cassette، 12 اینچ Foup (مدل استاندارد فقط از وافرهای 12 اینچی پشتیبانی می کند)

 
 

PC101 (EFEM)

روش بارگیری و تخلیه پورت بار + ربات ها
دقت پیش از تراز انحراف اصلاح مرکز گرد≤±0.1mm؛ انحراف اصلاح زاویه≤±0.2°
خواننده وافره پشتیبانی از فونت های SEMI (سطح های مسطح یا مجاور / کج) ، فونت های غیر SEMI
محدوده دمای پیش گرم کردن دمای اتاق: 180 درجه سانتیگراد
روش خنک سازی وافره خنک سازی طبیعی یا خنک سازی با هوا

 
 

سیستم حرکت توزیع کننده

مکانیزم های انتقال X/Y: موتور خطی Z: موتور سرو و ماژول پیچ
تکرار X/Y: ±3μ mZ: ±5μ m
دقت موقعیت X/Y: ±10μm
حداکثر سرعت حرکت X/Y: 1000mm/s Z: 500mm/s
حداکثر سرعت شتاب X/Y: 1g Z: 0.5g

 

سیستم بینایی

پیکسل های دوربین 130W
دقت تشخیص ±1 پیکسل
محدوده تشخیص 12 × 16mm< محدوده تشخیص< 19.2 × 25.6mm
منبع نور منبع نور سه رنگی ترکیبی قرمز، سبز، سفید + قرمز
سیستم کالیبراسیون وزن دقت وزن 0.01 میلی گرم

 
 

سینی بارگذاری روی میز

انحراف مسطحیت سطح خلاء ≤ 3 0 um
درجه حرارت گرمایش دمای اتاق: 180 درجه سانتیگراد
انحراف دمای گرمایش ≤ ± 1،5 °C
تکرار پذیری ارتفاع بلند کردن ±10 μm
فشار مکش خلاء -70 ~ 85Kpa قابل تنظیم

 
 
 
 

 

امکانات

اثر پا (W*D*H) 3075×2200×2200mm ((نشان دهنده باز شده)
وزن 2.9t
منبع برق 200-240VAC، 47-63HZ (تزریق برق تطبیق ولتاژ تک مرحله ای)
جریان الکتریکی 75A
قدرت 16.5KW
نفس بکشید (0.5Mpa، 450L/min) ×5 راه
دمای محیط کار 23°C±3°C
رطوبت نسبی محیط کار 30 تا 70 درصد

 

GS600SW ماشین توزیع سطح وافر RDL اولین برنامه WLP CUF برای زیرپول شکل وافر 1