![]() |
مقدار: | 1 |
قیمت: | $1000-$150000 |
جزئیات بسته بندی: | چوبی |
زمان تحویل: | 5-60 روز |
شرایط پرداخت: | L/C، T/T، D/A، D/P، MoneyGram، Western Union |
SS101وافره-سطح توزیع ماشین
برای زیرپول کردن شکل وافره
SS101 یک سیستم توزیع سطح وافر بسیار پایدار و دقیق است که بر اساس الزامات فرآیند Under fill از RDL First WLP توسعه یافته است.
این تجهیزات نیازهای صنعت نیمه هادی را برآورده می کند، می تواند با یک سیستم بارگیری و تخلیه خودکار وافر مجهز باشد و می تواند به طور خودکار عملکردهایی مانند دستکاری وافر را درک کند.ترازبا پروتکل های ارتباطی بین المللی نیمه هادی سازگار استو با یک رابط ربات بارگیری و تخلیه خودکار AMHS برای مطابقت با
الزامات مدیریت اطلاعات و روند مدیریت بدون سرنشین
طرح سیستم SS101
لودپورت و فوپ
✅ تنظیم کننده
ایستگاه اسکن کد QR
️ ایستگاه پیش گرمایش
️پایگاه تبعید گرما
ایستگاه کار ماشین توزیع GS600SWA GS600SWB ایستگاه کار ماشین توزیع
ماژول کنترل ربات
مشخصات فنی
سیستم SS101 | GS600SWA * 1 ،GS600SWB * 1 ، PC101 Wafer Handling Machine * 1 (EFEM) | |
زمینه های کاربرد | RDL اولین WLP، CUFتطبيق | |
سطح تمیز | تمیز کردن محل کار |
کلاس 100 (کارگاه کلاس 1000) کلاس ۱۰ (کارگاه کلاس ۱۰۰) |
زمینه های کاربرد محصول |
پشتیبانی از اندازه وافره |
φ200mm±0.5mm، φ300mm±0.5mm (مدل استاندارد فقط از وافرهای 12 اینچی پشتیبانی می کند) |
پشتیبانی از ضخامت وافره | 300-2550μm | |
حداکثر محدوده مجاز وافره | <5mm (بر اساس نوع Robot Finger) | |
حداکثر وزن مجاز وافره | 600 گرم (بر اساس نوع Robot Finger) | |
شکل کیست وافری | 8 اینچ Open Cassette، 12 اینچ Foup (مدل استاندارد فقط از وافرهای 12 اینچی پشتیبانی می کند) | |
PC101 (EFEM) |
روش بارگیری و تخلیه | پورت بار + ربات ها |
دقت پیش از تراز | انحراف اصلاح مرکز گرد≤±0.1mm؛ انحراف اصلاح زاویه≤±0.2° | |
خواننده وافره | پشتیبانی از فونت های SEMI (سطح های مسطح یا مجاور / کج) ، فونت های غیر SEMI | |
محدوده دمای پیش گرم کردن | دمای اتاق: 180 درجه سانتیگراد | |
روش خنک سازی وافره | خنک سازی طبیعی یا خنک سازی با هوا | |
سیستم حرکت توزیع کننده |
مکانیزم های انتقال | X/Y: موتور خطی Z: موتور سرو و ماژول پیچ |
تکرار | X/Y: ±3μ mZ: ±5μ m | |
دقت موقعیت | X/Y: ±10μm | |
حداکثر سرعت حرکت | X/Y: 1000mm/s Z: 500mm/s | |
حداکثر سرعت شتاب | X/Y: 1g Z: 0.5g | |
سیستم بینایی |
پیکسل های دوربین | 130W |
دقت تشخیص | ±1 پیکسل | |
محدوده تشخیص | 12 × 16mm< محدوده تشخیص< 19.2 × 25.6mm | |
منبع نور | منبع نور سه رنگی ترکیبی قرمز، سبز، سفید + قرمز | |
سیستم کالیبراسیون وزن | دقت وزن | 0.01 میلی گرم |
سینی بارگذاری روی میز |
انحراف مسطحیت سطح خلاء | ≤ 3 0 um |
درجه حرارت گرمایش | دمای اتاق: 180 درجه سانتیگراد | |
انحراف دمای گرمایش | ≤ ± 1،5 °C | |
تکرار پذیری ارتفاع بلند کردن | ±10 μm | |
فشار مکش خلاء | -70 ~ 85Kpa قابل تنظیم | |
امکانات |
اثر پا (W*D*H) | 3075×2200×2200mm ((نشان دهنده باز شده) |
وزن | 2.9t | |
منبع برق | 200-240VAC، 47-63HZ (تزریق برق تطبیق ولتاژ تک مرحله ای) | |
جریان الکتریکی | 75A | |
قدرت | 16.5KW | |
نفس بکشید | (0.5Mpa، 450L/min) ×5 راه | |
دمای محیط کار | 23°C±3°C | |
رطوبت نسبی محیط کار | 30 تا 70 درصد |